「미리온가이드」를 탑재한 아이셀 독자 초고정도·고강성직동 액츄에이터!

많은 요청사항을 반영하여 초소형 20각 사이즈를 출시!

미리온액츄에이터 미리온액츄에이터는 아이셀의 독자적인 롤러식가이드 「미리온가이드」를 탑재한 직동액츄에이터 입니다. 탑재 되어 있는 미리온가이드는 전동체에 니들롤러를 적용하여 고정도한 직진성을 실현합니다. 때문에 미리온액츄에이터는 3개의 1μm를 실현한 고정도 ·고강성 직동 액츄에이터가 됩니다.

고강성·고정도 롤러식 직동가이드 「미리온가이드」탑재 점에서 선으로

3개의 1μm

용도

스테퍼 등 각종 광학기기의 렌즈·미러 이동, 미세각도조정 현미경, 망원경의 렌즈, 미러 조정 얼라인먼트스테이지의 X ・Y ・θ축의 조정 테이블의 위치결정 카메라, 센서의 위치조정 반도체, 액정제조장치 각종 자동기, 시험장치 등

접촉면적비교 측압강성 휨 비교

미리온가이드 적용 사례

미리온가이드의 고강성을 활용하여 아래와 같은 곳에서도 사용되고 있습니다.

모터 코어 타발 금형 Punching Die of Motor core TAB 테이프 타발 금형 Punching Die of TAB tape

접촉면적비교

미리온가이드의 고강성을 활용하여 아래와 같은 곳에서도 사용되고 있습니다.

볼 순환 방식의 경우 미리온가이드(롤러 방식)의 경우 볼들이 접촉・충돌하면서 마찰이 발생하고, 마찰・발진・발열이 일어납니다. 또 순환시에 예압의 돌입・해제가 반복되어 진동의 큰 요인이 됩니다. 롤러들이 접촉하지 않기 때문에 전동체의 접촉・충돌・ 마찰이 발생하지 않음. 또 비순환・저예압으로 돌입 쇼크・진동이 적어 부드럽고, 미세 이송에 최적.

높은 동적정도를 뒷받침하는 초저진동 1μm의 이송정도를 뒷받침하는 추종성 볼 타입과 비교하여 1/20 이하의 저진동으로 동적정도를 확보. 회전저항을 극한까지 낮춰 0.1μm단위의 미세이송을 가능하게 하여 뛰어난 추종성을 실현

본체 바깥쪽에 오토스위치를 표준 탑재. → 간단한 스위치 위치조정, 공간절약. 모터 포함 사양뿐만 아니라 모터 레스 사양도 표준 라인업. 지정하시는 모터 설치도 가능. → 고객님의 제어사양・요구에 맞춰 선택 할 수 있습니다. (※한국에서는 모터레스 사양만 판매)

미리온액츄에이터 표준품 발주형식

외형치수도

GMA2010 GMA2815 GMA4220 GMA6025 ※상기 사양은 예고없이 변경 될 수 있습니다. 미리 양해 부탁드립니다.

접촉면적비교

GMA2010 모터타입 GMA2815 모터타입 GMA4220 모터타입 GMA6025 모터타입

※모터 레스를 구입하실 경우, 설치되어 있는 모터가 상기 치수 형상과 맞는지 확인 부탁드립니다. 상기 치수 형상 외의 모터를 설치하실 경우에는 문의 해 주시기 바랍니다.

라인업 / 표준사양 미리온액츄에이터(GMA시리즈)사양 (*1) 상시 최대 추력 또는 최대 속도로 사용하지 말아주십시오. 볼 나사의 수명을 현저하게 저하시킬 우려가 있사오니 짧은시간 동안 사용해 주십시오. (*2) 모터 엔코더의 분해능설정 10000pls/rev 시의 값입니다. 표준 모터 장착시의 데이터 입니다. 질량은 표준모터를 포함한 질량입니다.(케이블 질량은 포함되어있지 않습니다.) 반복 위치 결정 정도는 액츄에이터 온도가 일정할 경우에 한합니다. (주의 · 액츄에이터의 온도 변화에 따른 영향을 고려하고 있지 않습니다.)